Anwendungseinführung
*Automatisierte Materialhandhabung an Halbleiterdrahtkanten
*Geeignet für Prozesse mit losen Produktionszyklen
*Geeignet für individuelle Materialflusssituationen
*Es ist für den Personenfluss am Boden und den Materialtransport ohne Einschränkungen geeignet
*Geeignet für Werkstattausrüstung, die nicht festgelegt ist und Layoutänderungen unterstützt
*Gilt für den Wafer-Test BG WS DB WB Final TEST
*Konformität mit Reinraumstandards ISO14644-14, SEMI S2 und ESD
Ladestation
Einzelbatteriestation
| Lagermenge | 1/2 Behälter + 1 Wechselbehälter |
| Saubere Klasse | Klasse 1K |
| Bar Systeme | PLC |
| Datensystem | BCMS (optional) |
| Zeit für den Batteriewechsel | 3 Мinuten |
Batteriestation
| Lagermenge | ≥5 Behälter |
| Saubere Klasse | Klasse 1K |
| Bar Systeme | PLC |
| Datensystem | BCMS |
| Zeit für den Batteriewechsel | 4 Minuten |
Batteriemanagementsystem
Anwendungseinführung
*Automatisierte Materialhandhabung in der Halbleiterproduktion
*Es eignet sich für kurze Zykluszeiten und mehrere kombinierte Produktionssituationen
*Es eignet sich für die Punkt-zu-Punkt-Handhabung mit großem Volumen, hohem Gewicht und geringer Andockgenauigkeit
*Geeignet für OFEN, Einbrennofen, Rostkörbe, Kastenträger
*Entspricht den Reinraumnormen ISO14644-14, SEMI S2 Standard und ESD
Anwendungen
Polieren und Transportieren von Wafern
Be- und Entladen von SMT MGZ
Be- und Entladen des Ofens
E-Rack-Umschlag
Block4. Nr. 358 Jinhu Road, Bezirk Pudong, Shanghai, China
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