Anwendungseinführung
Automatisierte Materiallagerung und -verwaltung in der Halbleiterproduktion
Gilt für :
1. Lagerung mit hoher Dichte, hohe Raumausnutzung, volle Nutzung des Höhenraums
2.Schneller Schlag
3.In das Materialverwaltungssystem der Werkstatt integriert
4.Schnelle Implementierung, automatischer Level-Lehrtest
5.Kompatibel mit ARV/OHT/OHS/manuellen und anderen automatischen Prozessen
6. Entspricht den Reinraumnormen ISO14644-14, SEMI S2 und ESD
Funktionseinleitung
*Es wird für die Online-Speicherung von Halbleitern verwendet und unterstützt FOUP, CASSETTE, Magazine, Tray und andere
*Kann an ARV andocken, unterstützt manuelles Be- und Entladen
*Entspricht den Reinraumnormen ISO14644-14, SEMI S2 Standard und ESD
*Standard-SEMI-Softwareschnittstelle
*Modulares Design
Block4. Nr. 358 Jinhu Road, Bezirk Pudong, Shanghai, China
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